LPEリアクター用8インチハーフムーンパーツ

VeTek Semiconductor は、中国の LPE リアクターメーカーおよびイノベーター向けの大手 8 インチハーフムーンパーツです。当社は長年にわたり SiC コーティング材料に特化してきました。当社は、LPE SiC エピタキシーリアクター用に特別に設計された LPE リアクター用の 8 インチハーフムーンパーツを提供しています。このハーフムーンパーツは、最適なサイズ、互換性、高い生産性を備えた、半導体製造のための多用途かつ効率的なソリューションです。中国の工場を訪問することを歓迎します。

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製品説明

VeTek Semiconductor は専門メーカーとして、LPE リアクター用の高品質 8 インチハーフムーン部品を提供したいと考えています。

VeTek Semiconductor の LPE リアクター用 8 インチハーフムーンパーツは、半導体製造プロセス、特に SiC エピタキシャル装置で利用される重要なコンポーネントです。 VeTek Semiconductor は、特許取得済みの技術を採用して LPE リアクター用の 8 インチの半月型部品を製造し、優れた純度、均一なコーティング、優れた寿命を保証します。さらに、これらの部品は優れた耐薬品性と熱安定性を示します。

LPE リアクター用の 8 インチ半月型パーツの本体は高純度グラファイトで作られており、優れた熱伝導性と機械的安定性を備えています。不純物含有量が低い高純度グラファイトが選択され、エピタキシャル成長プロセス中の汚染を最小限に抑えます。その堅牢性により、LPE リアクター内の厳しい条件に耐えることができます。

VeTek Semiconductor SiC コーティングされたグラファイトハーフムーンパーツは、最高の精度と細部への注意を払って製造されています。使用される材料の高純度により、半導体製造における優れた性能と信頼性が保証されます。これらの部品の均一なコーティングにより、耐用年数を通じて一貫した効率的な動作が保証されます。

当社の SiC コーティングされたグラファイトハーフムーン部品の主な利点の 1 つは、優れた耐薬品性です。半導体製造環境の腐食性に耐えることができるため、長期にわたる耐久性が保証され、頻繁な交換の必要性が最小限に抑えられます。さらに、優れた熱安定性により、高温条件下でも構造の完全性と機能を維持できます。

当社の SiC コーティングされたグラファイトハーフムーン部品は、SiC エピタキシャル装置の厳しい要件を満たすよう細心の注意を払って設計されています。これらの部品は信頼性の高い性能でエピタキシャル成長プロセスの成功に貢献し、高品質なSiC膜の成膜を可能にします。

CVD SiC コーティングの基本物性:

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	標準値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
密度	3.21 g/cm3
硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg-1・K-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m-1・K-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K-1