MOCVD LED エピサセプタ

ヴェテック・セミコンダクターのMOCVD LED エピサセプタコアコンポーネントです。半導体デバイスの製造工程では、MOCVD LED エピサセプタは単純な加熱プラットフォームであるだけでなく、薄膜材料の品質、成長速度、均一性などの側面に大きな影響を与える精密プロセスツールでもあります。

具体的な用途は、MOCVD LED エピサセプタ半導体プロセスでは次のようなものがあります。

基板加熱と均一性制御:

MOCVD エピタキシャル サセプタは、エピタキシャル成長中の基板の温度を安定させるために均一な加熱を提供するために使用されます。これは、高品質の半導体膜を取得し、基板全体のエピタキシャル層の厚さと結晶品質の一貫性を確保するために不可欠です。

化学蒸着 (CVD) リアクター チャンバーのサポート:

CVD リアクターの重要なコンポーネントとして、サセプターは基板上への金属有機化合物の堆積をサポートします。これらの化合物を固体膜に正確に変換して、目的の半導体材料を形成するのに役立ちます。

ガス流通の促進:

サセプタの設計により、反応チャンバ内のガスの流れ分布を最適化し、反応ガスが基板に均一に接触するようにすることで、エピタキシャル膜の均一性と品質を向上させることができます。

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CVD SiCコーティングの基本物性:

生産ショップ:

半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要：