PECVDグラファイトボート

VeTek Semiconductor は、中国の PECVD グラファイト ボートの専門メーカーおよびサプライヤーです。

VeTek Semiconductorの太陽電池(コーティング)PECVDグラファイトボートの役割は何ですか?

PECVDグラファイトボートは、コーティングプロセスで製造される通常のシリコンウェーハのキャリアとして、一定の間隔をあけて多数のボートウェーハを有する構造であり、隣接する2つのボートウェーハの間には非常に狭い空間があり、シリコンウェーハは両方の上に配置されます。空のドアの側面。

PECVDグラファイトボート材料のグラファイトは優れた電気伝導性と熱伝導性を備えているため、チャンバー内に特定の圧力とガスが存在する場合、隣接する2つのボートにAC電圧がかかり、隣接する2つのボートが正極と負極を形成します。グロー放電は 2 つのボートの間で発生し、グロー放電によって空間内の SiH4 および NH3 ガスが分解され、Si および N イオンが形成されます。コーティングの目的を達成するために、SiNx 分子がシリコンウェーハの表面に形成および堆積されます。

太陽電池メッキ反射防止膜のキャリアとしてのPECVDグラファイトボートは、その構造とサイズがシリコンウェーハの変換効率と生産効率に直接影響します。長年の技術研究開発を経て、当社の工場には現在、高度な生産設備、成熟した技術設計者、経験豊富な人材が揃っています。生産スタッフと材料は、輸入原料または高級国産材料を選択できます。現在、当社が製造するグラファイトハウスは構造がシンプルで、グラファイトボートから適度な距離があるため、シリコンコーティングが均一になり、シリコンウェーハの品質が向上し、太陽エネルギーの変換効率が高くなります。

Vetek Semiconductor は、市場が現在必要としているあらゆるタイプのグラファイト ボートを取り揃えています。

静水圧グラファイトの基本物性:

生産ショップ：

半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要: