CVD TAC コーティングとは何ですか?

誰もが知っているように、TaC融点は最大3880°Cです、高い機械的強度、硬度、耐熱衝撃性。高温でのアンモニア、水素、シリコン含有蒸気に対する化学的不活性性と熱安定性が良好です。

微細断面の炭化タンタルコーティング

CVD TACコーティング、化学蒸着 (CVD)炭化タンタル (TaC) コーティングは、基材 (通常はグラファイト) 上に高密度で耐久性のあるコーティングを形成するプロセスです。この方法では、高温で基材の表面に TaC を堆積させることで、優れた熱安定性と耐薬品性を備えたコーティングが得られます。

CVD TaC コーティングの主な利点は次のとおりです。

非常に高い熱安定性: 2200℃を超える温度に耐えることができます。

耐薬品性: 水素、アンモニア、シリコン蒸気などの過酷な化学物質に効果的に耐えます。

強力な粘着力: 層間剥離のない長期的な保護を保証します。

高純度: 不純物を最小限に抑え、半導体用途に最適です。

これらのコーティングは、半導体製造や高温工業プロセスなど、極端な条件に対する高い耐久性と耐性が必要な環境に特に適しています。

工業生産においては、TaC コーティングでコーティングされたグラファイト (炭素 - 炭素複合材料) 材料が、従来の高純度グラファイト、pBN コーティング、SiC コーティング部品などに取って代わる可能性が非常に高いです。さらに、航空宇宙の分野では、TaC は大きな可能性を秘めています。高温酸化防止および耐摩耗コーティングとして使用でき、幅広い用途の可能性があります。しかし、グラファイトの表面に緻密で均一な剥離のないTaCコーティングを作製し、工業的な大量生産を促進するには、まだ多くの課題があります。

このプロセスでは、コーティングの保護メカニズムを探索し、生産プロセスを革新し、海外のトップレベルと競争することが第3世代にとって重要です。半導体結晶成長とエピタキシー.

VeTek Semiconductor は、以下のような CVD 炭化タンタル コーティング製品の中国の専門メーカーです。CVD TaC コーティングるつぼ, CVD TaCコーティングウェーハキャリア, CVD TaC コーティングキャリア,CVD TaC コーティング カバー, CVD TaC コーティングリング。 VeTek Semiconductor は、半導体業界向けのさまざまなコーティング製品向けの高度なソリューションを提供することに尽力しています。

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