TaC コーティングサセプタ

VeTek Semiconductor は、TaC コーティングサセプタを発表します。卓越した TaC コーティングを備えたこのサセプタは、従来のソリューションとは一線を画す多くの利点を提供します。VeTek Semiconductor の TaC コーティングサセプタは、既存のシステムにシームレスに統合し、互換性と効率的な動作を保証します。その信頼性の高い性能と高品質の TaC コーティングは、SiC エピタキシープロセスにおいて常に優れた結果をもたらします。当社は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

VeTek Semiconductor の TaC コーティングされたサセプタとリングは、LPE 炭化ケイ素エピタキシャル成長リアクタ内で連携して動作します。

高温耐性: TaC コーティングサセプターは優れた高温耐性を備えており、LPE リアクター内で最大 1500°C の極端な温度に耐えることができます。これにより、長期間の使用中に機器やコンポーネントが変形したり損傷したりすることがなくなります。

化学的安定性: TaC コーティングサセプターは、腐食性炭化ケイ素の成長環境において非常に優れた性能を発揮し、リアクターのコンポーネントを腐食性の化学攻撃から効果的に保護し、耐用年数を延ばします。

熱安定性: TaC コーティングサセプターは良好な熱安定性を備えており、表面形態と粗さを維持してリアクター内の温度場の均一性を確保します。これは炭化ケイ素エピタキシャル層の高品質な成長に有益です。

汚染防止: 滑らかな TaC コーティング表面と優れた TPD (温度プログラム脱着) 性能により、リアクター内の粒子や不純物の蓄積と吸着を最小限に抑え、エピタキシャル層の汚染を防ぎます。

要約すると、TaC コーティングされたサセプターとリングは、LPE 炭化ケイ素エピタキシャル成長リアクターにおいて重要な保護の役割を果たし、装置の長期安定動作とエピタキシャル層の高品質成長を保証します。

TaC コーティングサセプターの製品パラメーター:

TaCコーティングの物性
密度	14.3 (g/cm3)
比放射率	0.3
熱膨張係数	6.3 10-6/K
硬度（HK）	2000 香港
抵抗	1×10-5オーム*cm
熱安定性	<2500℃
グラファイトのサイズ変更	-10~-20μm
膜厚	≥20um 代表値 (35um±10um)