TaCコーティング三花弁リング

VeTek Semiconductor は、中国の TaC コーティング三花弁リングの専門メーカーおよびサプライヤーです。TaC コーティング三花弁リングは、化合物半導体用の Aixtron G10 堆積システム、GaN パワーおよび RF 用の G10-GaN 150/200 mm 高スループット エピタキシーで使用されています。アプリケーション。

VeTek Semiconductor TaC コーティングは、SiC より優れた高温安定性を備えた新世代の耐高温材料で、耐食コーティング、耐酸化コーティング、耐摩耗コーティングとして、2000℃以上の環境で使用でき、広く使用されています。航空宇宙超高温ホットエンド部品、第3世代半導体単結晶成長などの分野。

製品の特徴：

1. 高純度、不純物含有量 < 5ppm

2. 高温耐性、耐食性、高密度、高密度

3. 高温ではアンモニア、水素、シラン、シリコンに対して化学的に不活性であり、良好な熱安定性を持っています。

4. 熱衝撃耐性があり、動作サイクルをスピードアップできます。

5. 強力なグラファイト接着により長寿命が保証され、コーティングの剥離がありません。

6. 厳密な寸法公差。

主な用途:

1. エピタキシャル成長

2. 単結晶育成

3. 高温腐食の転用

4. 高温耐酸化ノズル

5. ガスタービンブレード

TaCコーティング三花弁リングの製品パラメータ

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