TaCコーティングガイドリング

VeTek Semiconductor は、中国の TaC コーティング ガイド リング、TaC コーティングるつぼ、シード ホルダーの専門メーカーおよびサプライヤーです。

TaC コーティングるつぼ、シード ホルダー、TaC コーティング ガイド リングを、SiC および AIN 単結晶炉で PVT 法によって成長させました。

物理的気相輸送法 (PVT) を使用して SiC を製造する場合、種結晶は比較的低温領域にあり、SiC 原料は比較的高温領域 (2400 ℃以上) にあります。原料が分解するとSiXCy（主にSi、SiC₂、Si₂Cなどを含む）が生成されます。気相物質は高温領域から低温領域の種結晶に輸送され、核生成、成長する。単結晶を形成すること。このプロセスで使用されるるつぼ、フローガイドリング、種結晶ホルダーなどの熱場材料は、高温に耐性があり、SiC 原料や SiC 単結晶を汚染しない必要があります。同様に、AlN 単結晶の成長における加熱要素は、Al 蒸気、N2 腐食に対する耐性が必要であり、結晶準備期間を短縮するために高い共晶温度 (および AlN) を有する必要があります。

TaC コーティンググラファイトサーマルフィールド材料によって調製された SiC および AlN はよりクリーンで、炭素 (酸素、窒素) およびその他の不純物がほとんどなく、エッジ欠陥が少なく、各領域の抵抗率が小さく、微細孔密度とエッチングピット密度が小さいことがわかりました。 （KOH エッチング後）大幅に減少し、結晶品質が大幅に向上しました。さらに、TaCるつぼの重量損失率はほぼゼロであり、外観は非破壊的であり、リサイクル可能（寿命は200時間まで）であるため、単結晶製造の持続可能性と効率を向上させることができます。

TaCコーティングガイドリングの製品パラメータ:

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半導体チップのエピタキシー産業チェーンの概要: