炭化タンタル TaC コーティングハーフムーン

VeTek Semiconductor は、炭化タンタル TaC コーティングハーフムーンの中国の大手メーカーおよびサプライヤーです。当社は研究開発と生産に特化しており、品質を適切に管理し、競争力のある価格を提供できます。長期的な協力関係についてさらに話し合うために、当社の工場を訪問することを歓迎します。

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製品説明

VeTek Semiconductor は、中国のタンタルカーバイド TaC コーティングハーフムーンの専門メーカーおよびサプライヤーです。 VeTek Semiconductor は、炭化ケイ素のエピタキシャルプロセスにおいて支持および輸送の役割を果たす炭化タンタル TaC コーティングハーフムーンを提供しています。これは基板を支持するだけでなく、平坦な基盤を提供し、その上にエピタキシーを均一に成長させることができます。

ハーフムーン部品の品質と性能は、炭化ケイ素エピタキシャルプロセス中のウェーハの品質と性能に直接影響します。したがって、SiC エピタキシャルプロセスを成功させるには、適切なハーフムーンパーツを設計して選択することが重要です。 VeTek Semiconductor 製の炭化タンタル TaC コーティングハーフムーンは、高温耐性、耐食性、耐摩耗性を強化し、成長プロセス中のハーフムーンコンポーネントの安定性と寿命を大幅に向上させることができます。

炭化タンタルコーティングのパラメータ:

TaCコーティングの物性
密度	14.3 (g/cm3)
比放射率	0.3
熱膨張係数	6.3 10-6/K
硬度（HK）	2000 香港
抵抗	1×10-5オーム*センチメートル
熱安定性	<2500℃
グラファイトのサイズ変化	-10~-20μm
膜厚	≥20um 代表値 (35um±10um)