VeTek Semiconductor 高純度シリコンカーバイド ウェーハ キャリアは、半導体処理における重要なコンポーネントであり、繊細なシリコン ウェーハを安全に保持して輸送できるように設計されており、製造のすべての段階で重要な役割を果たします。 VeTek Semiconductor の高純度炭化ケイ素ウェーハ キャリアは、優れた性能と信頼性を確保するために慎重に設計および製造されています。 VeTek Semiconductor は、競争力のある価格で高品質の製品を提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
VeTek Semiconductor は、高品質とリーズナブルな価格を備えた中国の高純度シリコンカーバイド ウェーハ キャリアのプロフェッショナル リーダー メーカーです。ようこそお問い合わせください。
VeTek Semiconductor の高純度炭化ケイ素ウェーハ キャリアは、プロセス チャンバ内のスペース効率を最大化するために複数のウェーハ用に設計されたキャリアです。これらの高純度炭化ケイ素ウェーハキャリアは通常、長方形または円筒形で、各キャリアには、単一のウェーハを垂直位置にしっかりと保持するために互いに分離された精密機械加工されたスロットまたは溝があります。高純度シリコンカーバイドウェーハキャリアは、高温、腐食性化学物質、機械的ストレスに対する優れた耐性を備えており、潜在的な損傷からウェーハを保護するのに最適です。これらは、処理中のウェーハの完全性と安全性を確保するために、高純度の炭化ケイ素 (SiC) から製造されています。
高純度シリコンカーバイドウェーハキャリアは、拡散、RTP、熱分野などの複雑なプロセスで重要な役割を果たし、ウェーハの安定したキャリアとして機能し、異なる装置やステージ間のシームレスな搬送を実現します。その垂直構造により、プロセスチャンバー内の床面積が最小限に抑えられ、生産スループットが最適化され、大量のウェーハバッチを効率的に処理できます。高純度炭化ケイ素ウェーハキャリアは、高温、腐食、機械的強度に対する優れた耐性で知られており、潜在的な損傷からウェーハを保護します。
VeTek Semiconductor の高純度炭化ケイ素ウェーハ キャリアは高純度炭化ケイ素 (SiC) で作られており、優れた高温耐性、耐化学腐食性、機械的強度を備えており、過酷な環境でもウェーハの完全性を保護します。慎重に設計された構造と正確に加工されたスロットにより、ウェーハは確実に位置決めされ、高精度加工のニーズに応えます。
VeTek Semiconductor は、お客様に高品質の製品と信頼できる技術サポートを提供することに尽力しています。ウェーハの成長、拡散、薄膜堆積、その他の重要なプロセスにおいても、VeTek Semiconductor の高純度シリコンカーバイドウェーハキャリアは、製造プロセスの安定性と一貫性を確保する上で重要な役割を果たします。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
再結晶炭化ケイ素の物性 | |
財産 | 標準値 |
使用温度(℃) | 1600℃(酸素あり)、1700℃(還元雰囲気) |
SiC含有量 | > 99.96% |
無料のSiコンテンツ | < 0.1% |
かさ密度 | 2.60~2.70g/cm3 |
見かけの気孔率 | < 16% |
圧縮強度 | > 600MPa |
冷間曲げ強度 | 80~90MPa(20℃) |
熱間曲げ強度 | 90~100MPa(1400℃) |
熱膨張 @1500°C | 4.70 10-6/℃ |
熱伝導率 @1200°C | 23 W/m・K |
弾性率 | 240GPa |
耐熱衝撃性 | 非常に良い |