炭化ケイ素カンチレバーパドル

VeTek Semiconductor の炭化ケイ素カンチレバーパドルは、半導体製造プロセスの重要なコンポーネントであり、特に拡散や RTP などの高温プロセスの拡散炉または LPCVD 炉に適しています。当社の炭化ケイ素カンチレバーパドルは、優れた耐高温性と機械的強度を備え慎重に設計および製造されており、拡散やRTPなどのさまざまな高温プロセスの過酷なプロセス条件下でも、安全かつ確実にウエハをプロセスチューブに搬送できます。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

VeTek Semiconducto からカスタマイズされたシリコンカーバイドカンチレバーパドルを安心して購入できます。ご協力をお待ちしております。詳しく知りたい場合は、今すぐご相談ください。すぐにご返信いたします。

VeTek Semiconductor の炭化ケイ素カンチレバーパドルは高純度の炭化ケイ素で作られており、優れた高温耐性と機械的強度を備えています。これは、半導体製造プロセス、特に拡散炉や LPCVD 炉および RTP プロセスにおいて不可欠な主要コンポーネントです。炭化ケイ素カンチレバーパドルの正確な設計と製造により、高精度のプロセス要件を満たすウェーハの安全な位置決めと搬送が保証されます。

VeTek Semiconductor の炭化ケイ素カンチレバーパドルは、主材料として炭化ケイ素で作られています。炭化ケイ素は高強度で熱安定性が良いという特徴を持っており、半導体炉の高温プロセス環境における過酷な条件にも耐えることができます。炭化ケイ素を選択する理由の 1 つは、半導体炉内の高温環境に適応できることです。

炭化ケイ素カンチレバーパドルの設計により、炉内のプロセスチューブ内まで延長し、一端をチューブの外側にしっかりと固定できます。この設計により、処理中のウェーハがプロセス中に安定して支持された状態に保たれ、炉内の熱環境との干渉が最小限に抑えられます。

VeTek Semiconductor は、高品質の SiC カンチレバーパドル製品の提供に取り組んでいます。当社の製品は、半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすように慎重に設計および製造されています。炭化ケイ素カンチレバーパドルの優れた性能と信頼性により、それは半導体産業において不可欠な主要コンポーネントとなっています。 VeTek Semiconductor は、高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

炭化ケイ素カンチレバーパドルの製品パラメータ

再結晶炭化ケイ素の物性
財産	標準値
使用温度(℃)	1600℃（酸素あり）、1700℃（還元雰囲気）
SiC含有量	> 99.96%
無料のSiコンテンツ	< 0.1%
かさ密度	2.60～2.70g/cm3
見かけの気孔率	< 16%
圧縮強度	> 600MPa
冷間曲げ強度	80～90MPa(20℃)
熱間曲げ強度	90～100MPa(1400℃)
熱膨張 @1500°C	4.70 10-6/℃
熱伝導率 @1200°C	23 W/m・K
弾性率	240GPa
耐熱衝撃性	非常に良い