横型炉用炭化ケイ素ウェーハボート

横型炉用の高品質炭化ケイ素ウェーハボートは、中国のメーカーVeTek Semiconductorによって提供されています。高品質の横型炉用炭化ケイ素ウェーハボートを低価格で工場から直接購入してください。横型炉用炭化ケイ素ウェーハボートは、高温処理中にウェーハをロードおよび搬送するための炉管に使用されます。炭化ケイ素材料は、高温耐性、耐薬品性、熱安定性などの優れた特性を備えているため、拡散、酸化、CVD、アニールなどのさまざまな熱処理プロセスで広く使用されています。

横型炉用炭化ケイ素ウェーハボートは炭化ケイ素材料で作られており、次のような特徴があります。

1. 高い硬度と耐摩耗性：炭化ケイ素はダイヤモンドに次ぐ硬度を持ち、耐摩耗性に優れています。これにより、炭化ケイ素ボートは繰り返しの機械的衝撃や摩擦に耐えることができ、耐用年数が長くなります。

2. 高温耐性: 炭化ケイ素の融点は 2730°C であり、炭化ケイ素ボートは高温環境や高温酸化や拡散などのさまざまな半導体製造プロセスに適しています。

3. 低い熱膨張係数: 炭化ケイ素は熱膨張係数が低いため、高温での寸法安定性を維持し、ボートの変形を防ぎ、ウェーハ処理精度に影響を与えます。

4. 優れた化学的安定性: 炭化ケイ素はほとんどの化学物質に対して耐性があり、一般的な酸やアルカリ溶液とは反応しないため、ウェーハの安全性と清浄性が確保されます。

水平ウェーハボート、垂直ウェーハボート、その他のカスタマイズされたボートなど、さまざまなタイプの炭化ケイ素ウェーハボートを製造できます。

当社では、以下のパラメータを持つ高純度の再結晶炭化ケイ素を使用しています。

アプリケーション

横型炉用炭化ケイ素ウェーハボートは、半導体および太陽光発電産業で幅広い用途に使用されています。

ウェーハの洗浄とエッチング

拡散と酸化

電気めっきとエッチング

化学機械研磨 (CMP)

熱処理

ウェハの搬送と保管

VeTek 半導体製造工場