SiC コーティングされた炭化ケイ素ウェハーボート

VeTek Semiconductor は、SiC コーティングされた炭化ケイ素ウェーハボートの中国の専門メーカーおよびサプライヤーであり、研究開発と生産における長年の経験があり、品質を適切に管理し、競争力のある価格を提供できます。私たちの工場を訪問することを歓迎し、協力についてさらに話し合ってください。

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製品説明

VeTek Semiconductor は、長年の経験を持つ SiC コーティングされた炭化ケイ素ウェーハボートを主に生産する中国のメーカーおよびサプライヤーです。 SiCコーティングされた炭化ケイ素ウェーハボートは、イオン注入、拡散、アニールなどのさまざまな高温プロセスでウェーハを搬送するために半導体拡散炉で使用されます。ウェーハに安定した環境を提供し、処理中の温度の均一性と一貫性を確保します。

SiC コーティングされた炭化ケイ素ウェーハボートは、より高い耐熱性と化学的安定性を備えているため、より高温で動作し、より長い寿命を実現できます。さらに、材料の蒸発速度とガスの吸着速度が低く、ウェーハ処理における不純物の影響を軽減するのに役立ちます。

水平ウェーハボート、垂直ウェーハボート、その他のカスタマイズされたボートなど、さまざまなタイプの炭化ケイ素ウェーハボートを製造できます。

当社の高純度炭化ケイ素の利点:

1.高温安定性

2.化学的不活性

3.不純物含有量が低い

4.熱伝導率

再結晶炭化ケイ素の物性

再結晶炭化ケイ素の物性
財産	標準値
使用温度(℃)	1600℃（酸素あり）、1700℃（還元雰囲気）
SiC含有量	> 99.96%
無料のSiコンテンツ	< 0.1%
かさ密度	2.60～2.70g/cm3
見かけの気孔率	< 16%
圧縮強度	> 600MPa
冷間曲げ強度	80～90MPa(20℃)
熱間曲げ強度	90～100MPa(1400℃)
熱膨張 @1500°C	4.70 10-6/℃
熱伝導率 @1200°C	23 W/m・K
弾性率	240GPa
耐熱衝撃性	非常に良い