TaCコーティングペデスタルサポートプレート

VeTek Semiconductorは、長年の経験を持つ主にCVD TaCコーティングサセプタ、インレットリング、ウェーハチャンク、TaCコーティングホルダー、TaCコーティングペデスタルサポートプレートを生産する中国のメーカーおよびサプライヤーです。あなたとのビジネス関係を構築したいと考えています。

TaCセラミックスは、融点が3880℃に達し、硬度が高く（モース硬度9～10）、熱伝導率が大きく（22W・m-1・K－1）、曲げ強度が大きく（340～400MPa）、熱膨張が小さいという特性を持っています。係数（6.6×10−6K−1）を持ち、優れた熱化学的安定性と優れた物性を示します。 TaC コーティングはグラファイトおよび C/C 複合材料との化学的および機械的適合性が良好であるため、航空宇宙の熱保護、単結晶成長、半導体産業の Aixtron や LPE EPI リアクターなどのエピタキシャル リアクターで広く使用されています。 TaCコーティングされたグラファイトは、ベアストーンインクやSiCコーティングされたグラファイトよりも優れた耐化学腐食性を持ち、2200°の高温でも安定して使用でき、多くの金属元素と反応せず、第3世代の半導体単結晶成長、エピタキシーおよびウェーハエッチングシーンに使用されます。最高の性能のコーティングを使用することで、温度と不純物の制御、高品質の炭化ケイ素ウェーハおよび関連エピタキシャルウェーハの製造プロセスを大幅に改善できます。特にMOCVD装置でのGaNまたはAlN単結晶、PVT装置でのSiC単結晶の成長に適しており、成長した単結晶の品質が明らかに向上します。

TaC コーティングおよび SiC コーティング 対応可能なスペアパーツ:

TaC コーティングのパラメータ:

産業チェーン:

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