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垂直コラムウェーハボート&ペデスタル
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垂直コラムウェーハボート&ペデスタル

中国の垂直カラム ウェーハ ボートおよびペデスタルの専門メーカーおよびサプライヤーである Vetek Semiconductor の垂直カラム ウェーハ ボートおよびペデスタルは、高純度の石英またはシリコン カーボン セラミック (SiC) 材料で作られており、優れた高温耐性、化学的安定性、機械的強度を備えています。 、半導体製造プロセスにおいて不可欠なコア部品です。さらなるご相談を歓迎します。

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製品説明

ヴェテック セミコンダクター中国のプロのリーダーですSiCウェーハボート, ウェーハキャリア, CVD SiCコーティング高品質かつリーズナブルな価格を実現したメーカー。ようこそお問い合わせください.

ヴェテック セミコンダクター の垂直カラム ウェーハ ボートおよびペデスタルは、極端な温度や過酷な化学環境において信頼性の高いサポートを提供できるため、半導体処理装置で広く使用され、半導体処理技術の精度と安定性を保証します。


半導体プロセスにおける垂直カラムウェーハボートペデスタルの具体的な役割は、次のように:

高精度のウェーハサポートと位置決めを提供します:

垂直コラムウェーハボートとペデスタルの設計により、ウェーハが垂直方向に正確かつ安定して支持されます。これらのコンポーネントは、正確な間隔制御と安定した構造により、高温処理または輸送中のウェハの移動、滑り、損傷を効果的に防止し、各処理リンクでのウェハの正確な位置決めと処理を保証します。

熱プロセスを最適化し、プロセスの一貫性を向上させます。:

石英と SiC 材料の優れた熱伝導率により、垂直カラム ウェーハ ボート & ペデスタルは、拡散、酸化、アニーリングなどの熱処理プロセス中に熱が各ウェーハに均一に伝達されることを保証します。この均一な熱分布により、処理プロセスの一貫性が大幅に向上し、各ウェーハが厳格な製造基準を確実に満たすことができるため、製品の歩留まりが向上します。

化学腐食に強く、汚染を防ぎます。:

高純度の石英および SiC 材料は優れた耐化学腐食性を備えており、有害な不純物を放出することなく高温の化学環境でも安定した状態を維持できます。この機能により、Vertical Column Wafer Boat & Pedestal は処理中のウェーハの汚染を効果的に防止し、最終製品の高純度および性能安定性を確保し、清浄度と純度に対する半導体業界の厳しい要件を満たすことができます。


中国の半導体産業向けの高度なコーティング材料の大手メーカーおよびサプライヤーとして、VeTek Semiconductor は顧客に次のようなサービスを提供することに尽力しています。カスタマイズされた先進技術と製品ソリューション.私たちは中国におけるあなたの長期的なパートナーになることを心から願っています.


横型SiCウエハキャリアの基本物性:



VeTek Semiconductor 垂直コラム ウェーハ ボート ペデスタル生産ショップ:



半導体チップエピタキシー産業チェーンの概要:



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