酸化拡散炉は、半導体デバイス、ディスクリートデバイス、光電子デバイス、パワーエレクトロニクスデバイス、太陽電池、大規模集積回路製造などのさまざまな分野で使用されています。これらは、ウェーハの拡散、酸化、アニーリング、合金化、焼結などのプロセスに利用されます。
VeTek Semiconductor は、酸化炉および拡散炉での高純度グラファイト、炭化ケイ素、石英コンポーネントの製造を専門とする大手メーカーです。当社は、半導体および太陽光発電産業向けに高品質の炉コンポーネントを提供することに尽力しており、CVD-SiC、CVD-TaC、パイロカーボンなどの表面コーティング技術の最前線に立っています。
高温耐性(1600℃まで)
優れた熱伝導性と熱安定性
優れた耐化学腐食性
低い熱膨張係数
高い強度と硬度
長寿命
酸化炉や拡散炉では、高温で腐食性のガスが存在するため、多くのコンポーネントに高温で耐腐食性の材料を使用する必要があり、その中でも炭化ケイ素 (SiC) が一般的に使用されます。以下は、酸化炉や拡散炉で使用される一般的な炭化ケイ素コンポーネントです。
ウエハーボート
炭化ケイ素ウェーハボートは、高温に耐え、シリコンウェーハと反応しないシリコンウェーハを運ぶために使用される容器です。
ファーネスチューブ
ファーネスチューブは拡散炉の中核コンポーネントであり、シリコンウェーハを収容し、反応環境を制御するために使用されます。炭化ケイ素炉管は優れた高温性能と耐食性能を備えています。
バッフルプレート
炉内の空気の流れと温度分布を調整するために使用されます。
熱電対保護管
温度測定用熱電対を腐食性ガスとの直接接触から保護するために使用されます。
カンチレバーパドル
炭化ケイ素カンチレバーパドルは高温や腐食に耐性があり、シリコンウェーハを載せたシリコンボートや石英ボートを拡散炉の管内に輸送するために使用されます。
ガスインジェクター
反応ガスを炉内に導入するために使用されるため、高温や腐食に対する耐性が必要です。
ボートキャリア
炭化ケイ素ウェーハボートキャリアは、シリコンウェーハの固定と支持に使用され、高強度、耐食性、優れた構造安定性などの利点があります。
炉の扉
炭化ケイ素のコーティングまたはコンポーネントを炉ドアの内側に使用することもできます。
発熱体
炭化ケイ素発熱体は高温、高出力に適しており、温度を急速に1000℃以上まで上げることができます。
SiCライナー
炉心管の内壁を保護するために使用され、熱エネルギーの損失を軽減し、高温高圧などの過酷な環境に耐えることができます。
VeTek Semiconductor の SiC カンチレバー パドルは、非常に高性能な製品です。当社のSiCカンチレバーパドルは、通常、シリコンウェーハのハンドリングや支持、化学気相成長(CVD)などの半導体製造プロセスにおける熱処理炉で使用されます。 SiC 材料の高温安定性と高い熱伝導率により、半導体処理プロセスにおける高い効率と信頼性が保証されます。当社は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国におけるお客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductorは、中国の横型炉用炭化ケイ素ウェーハボートの専門メーカーおよびサプライヤーであり、研究開発と生産における長年の経験があり、品質を適切に管理し、競争力のある価格を提供できます。横型炉用炭化ケイ素ウェーハボートは安心してご購入いただけます。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor は、SiC コーティングされた炭化ケイ素ウェーハ ボートの中国の専門メーカーおよびサプライヤーであり、研究開発と生産における長年の経験があり、品質を適切に管理し、競争力のある価格を提供できます。私たちの工場を訪問することを歓迎し、協力についてさらに話し合ってください。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor の炭化ケイ素カンチレバー パドルは、半導体製造プロセスの重要なコンポーネントであり、特に拡散や RTP などの高温プロセスの拡散炉または LPCVD 炉に適しています。当社の炭化ケイ素カンチレバーパドルは、優れた耐高温性と機械的強度を備え慎重に設計および製造されており、拡散やRTPなどのさまざまな高温プロセスの過酷なプロセス条件下でも、安全かつ確実にウエハをプロセスチューブに搬送できます。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor 高純度シリコンカーバイド ウェーハ キャリアは、半導体処理における重要なコンポーネントであり、繊細なシリコン ウェーハを安全に保持して輸送できるように設計されており、製造のすべての段階で重要な役割を果たします。 VeTek Semiconductor の高純度炭化ケイ素ウェーハ キャリアは、優れた性能と信頼性を確保するために慎重に設計および製造されています。 VeTek Semiconductor は、競争力のある価格で高品質の製品を提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor の高純度炭化ケイ素ウェーハボートは、優れた熱安定性、機械的強度、耐薬品性を備えた非常に純粋な炭化ケイ素素材で作られています。高純度炭化ケイ素ウェーハボートは、半導体製造のホットゾーン用途、特に高温環境で使用され、ウェーハの保護、材料の輸送、安定したプロセスの維持に重要な役割を果たします。 VeTek Semiconductor は、半導体製造の進化するニーズを満たすために、高純度炭化ケイ素ウェーハ ボートの革新と性能向上に引き続き熱心に取り組んでいきます。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信