VeTek Semiconductor は、半導体処理分野における革新的なパートナーです。半導体グレードの炭化ケイ素セラミック材料の組み合わせ、コンポーネントの製造能力、アプリケーション エンジニアリング サービスの広範なポートフォリオにより、当社はお客様の重大な課題の克服を支援します。エンジニアリング技術 炭化ケイ素セラミックスは、その優れた材料性能により、半導体業界で広く応用されています。 VeTek Semiconductor の超高純度炭化ケイ素セラミックは、半導体の製造と処理のサイクル全体を通じて頻繁に使用されます。
VeTek Semiconductor は、バッチ拡散および LPCVD 要件に合わせて特別に設計された、次のようなエンジニアリング セラミック コンポーネントを提供します。
• バッフルとホルダー
• インジェクター
• ライナーとプロセスチューブ
• 炭化ケイ素カンチレバーパドル
• ウェーハボートと台座
SiCカンチレバーパドル SiCプロセスチューブ 炭化ケイ素プロセスチューブ SiC縦型ウェーハボート SiC横型ウェーハボート SiC横型スクエアウエハーボート SiC LPCVDウエハボート SiC横板ボート SiCラウンドウェーハボート
厳格なプラズマ エッチング処理に合わせて設計された次のような高純度コンポーネントにより、汚染と予定外のメンテナンスを最小限に抑えます。
フォーカスリング
ノズル
シールド
シャワーヘッド
窓・蓋
その他のカスタムコンポーネント
VeTek Semiconductor は、半導体業界の高温熱処理用途に合わせた高度な材料コンポーネントを提供します。これらのアプリケーションには、RTP、Epi プロセス、拡散、酸化、アニーリングが含まれます。当社のテクニカル セラミックは熱衝撃に耐えるように設計されており、信頼性の高い一貫したパフォーマンスを提供します。 VeTek Semiconductor のコンポーネントを使用することで、半導体メーカーは効率的かつ高品質の熱処理を実現でき、半導体製造の全体的な成功に貢献します。
• ディフューザー
• 絶縁体
• サセプター
• その他のカスタム熱コンポーネント
再結晶炭化ケイ素の物性 | |
財産 | 標準値 |
使用温度(℃) | 1600℃(酸素あり)、1700℃(還元雰囲気) |
SiC / SiC含有量 | > 99.96% |
Si / フリー Si コンテンツ | < 0.1% |
かさ密度 | 2.60~2.70g/cm3 |
見かけの気孔率 | < 16% |
圧縮強度 | > 600MPa |
冷間曲げ強度 | 80~90MPa(20℃) |
熱間曲げ強度 | 90~100MPa(1400℃) |
熱膨張 @1500°C | 4.70 10-6/℃ |
熱伝導率 @1200°C | 23 W/m・K |
弾性率 | 240GPa |
耐熱衝撃性 | 非常に良い |
VeTek Semiconductor は、半導体製造用の高性能 SiC プロセス チューブを提供しています。当社の SiC プロセスチューブは、酸化、拡散プロセスに優れています。優れた品質と職人技を備えたこれらのチューブは、効率的な半導体処理のための高温安定性と熱伝導性を提供します。当社は競争力のある価格を提供し、中国における長期的なパートナーとなることを目指しています。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor の SiC カンチレバー パドルは、非常に高性能な製品です。当社のSiCカンチレバーパドルは、通常、シリコンウェーハのハンドリングや支持、化学気相成長(CVD)などの半導体製造プロセスにおける熱処理炉で使用されます。 SiC 材料の高温安定性と高い熱伝導率により、半導体処理プロセスにおける高い効率と信頼性が保証されます。当社は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国におけるお客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductorは、中国の横型炉用炭化ケイ素ウェーハボートの専門メーカーおよびサプライヤーであり、研究開発と生産における長年の経験があり、品質を適切に管理し、競争力のある価格を提供できます。横型炉用炭化ケイ素ウェーハボートは安心してご購入いただけます。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor は、SiC コーティングされた炭化ケイ素ウェーハ ボートの中国の専門メーカーおよびサプライヤーであり、研究開発と生産における長年の経験があり、品質を適切に管理し、競争力のある価格を提供できます。私たちの工場を訪問することを歓迎し、協力についてさらに話し合ってください。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor の炭化ケイ素カンチレバー パドルは、半導体製造プロセスの重要なコンポーネントであり、特に拡散や RTP などの高温プロセスの拡散炉または LPCVD 炉に適しています。当社の炭化ケイ素カンチレバーパドルは、優れた耐高温性と機械的強度を備え慎重に設計および製造されており、拡散やRTPなどのさまざまな高温プロセスの過酷なプロセス条件下でも、安全かつ確実にウエハをプロセスチューブに搬送できます。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信VeTek Semiconductor 高純度シリコンカーバイド ウェーハ キャリアは、半導体処理における重要なコンポーネントであり、繊細なシリコン ウェーハを安全に保持して輸送できるように設計されており、製造のすべての段階で重要な役割を果たします。 VeTek Semiconductor の高純度炭化ケイ素ウェーハ キャリアは、優れた性能と信頼性を確保するために慎重に設計および製造されています。 VeTek Semiconductor は、競争力のある価格で高品質の製品を提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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