中国 炭化タンタルコーティング メーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は、半導体業界向けの炭化タンタル コーティング材料の大手メーカーです。当社の主な製品には、CVD 炭化タンタル コーティング部品、SiC 結晶成長または半導体エピタキシー プロセス用の焼結 TaC コーティング部品が含まれます。 ISO9001 に合格した VeTek Semiconductor は、品質を適切に管理しています。 VeTek Semiconductor は、反復技術の継続的な研究開発を通じて、炭化タンタル コーティング業界のイノベーターになることに専念しています。

主な製品は、炭化タンタルコーティングのディフェクタリング、TaC コーティングの分流リング、TaC コーティングの半月部品、炭化タンタルコーティングの遊星回転ディスク (Aixtron G10)、TaC コーティングのるつぼ。 TaC コーティングリング; TaC コーティングされた多孔質グラファイト。炭化タンタルコーティンググラファイトサセプター; TaC コーティングされたガイドリング。 TaC 炭化タンタルコーティングプレート; TaC コーティングされたウェーハサセプタ; TaC コーティングリング; TaC コーティンググラファイトカバー; TaCコーティングチャンクなど、純度は5ppm以下であり、顧客の要求を満たすことができます。

TaC コーティング グラファイトは、独自の化学気相成長 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。利点は下の写真に示されています。