VeTek Semiconductor は、半導体業界向けの炭化タンタル コーティング材料の大手メーカーです。当社の主な製品には、CVD 炭化タンタル コーティング部品、SiC 結晶成長または半導体エピタキシー プロセス用の焼結 TaC コーティング部品が含まれます。 ISO9001 に合格した VeTek Semiconductor は、品質を適切に管理しています。 VeTek Semiconductor は、反復技術の継続的な研究開発を通じて、炭化タンタル コーティング業界のイノベーターになることに専念しています。
主な製品は、炭化タンタルコーティングのディフェクタリング、TaC コーティングの分流リング、TaC コーティングの半月部品、炭化タンタルコーティングの遊星回転ディスク (Aixtron G10)、TaC コーティングのるつぼ。 TaC コーティングリング; TaC コーティングされた多孔質グラファイト。炭化タンタルコーティンググラファイトサセプター; TaC コーティングされたガイドリング。 TaC 炭化タンタルコーティングプレート; TaC コーティングされたウェーハサセプタ; TaC コーティングリング; TaC コーティンググラファイトカバー; TaCコーティングチャンクなど、純度は5ppm以下であり、顧客の要求を満たすことができます。
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学気相成長 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。利点は下の写真に示されています。
炭化タンタル (TaC) コーティングは、最大 3880°C という高い融点、優れた機械的強度、硬度、および熱衝撃に対する耐性により注目を集めており、より高い温度要件が必要な化合物半導体エピタキシー プロセスに代わる魅力的な代替品となっています。 Aixtron MOCVDシステムやLPE SiCエピタキシープロセスなど、PVT法によるSiC結晶成長プロセスにも幅広く応用できます。
温度安定性
超高純度
H2、NH3、SiH4、Siに対する耐性
熱ストックに対する耐性
グラファイトとの接着力が強い
絶縁保護コーティングの適用範囲
直径750mmまでのサイズ(このサイズに達するのは中国の唯一のメーカーです)
ウェーハキャリア
誘導加熱サセプター
抵抗発熱体
サテライトディスク
シャワーヘッド
ガイドリング
LEDエピレシーバー
インジェクションノズル
マスキングリング
ヒートシールド
TaCコーティングの物性 | |
密度 | 14.3 (g/cm3) |
比放射率 | 0.3 |
熱膨張係数 | 6.3 10-6/K |
硬度(HK) | 2000 香港 |
抵抗 | 1×10-5オーム*センチメートル |
熱安定性 | <2500℃ |
グラファイトのサイズ変化 | -10~-20μm |
コーティングの厚さ | ≥20um 代表値 (35um±10um) |
要素 | 原子パーセント | |||
ポイント1 | ポイント2 | ポイント3 | 平均 | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
タ・ム | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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