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中国炭化ケイ素コーティングメーカー、サプライヤー、工場

VeTek Semiconductor は超高純度の炭化ケイ素コーティング製品の製造を専門とし、これらのコーティングは精製グラファイト、セラミック、高融点金属コンポーネントに適用されるように設計されています。

当社の高純度コーティングは、主に半導体およびエレクトロニクス産業での使用をターゲットとしています。これらは、ウェーハキャリア、サセプタ、および加熱要素の保護層として機能し、MOCVD や EPI などのプロセスで遭遇する腐食性および反応性環境からそれらを保護します。これらのプロセスは、ウェーハ処理とデバイス製造に不可欠です。さらに、当社のコーティングは、高真空、反応性、酸素環境にさらされる真空炉やサンプル加熱での用途に適しています。

VeTek Semiconductor では、高度な機械工場の機能を備えた包括的なソリューションを提供します。これにより、グラファイト、セラミック、または高融点金属を使用して基本コンポーネントを製造し、社内で SiC または TaC セラミックコーティングを適用することが可能になります。また、お客様支給部品の塗装サービスも行っており、多様なニーズに柔軟に対応いたします。

当社の炭化ケイ素コーティング製品は、Siエピタキシー、SiCエピタキシー、MOCVDシステム、RTP/RTAプロセス、エッチングプロセス、ICP/PSSエッチングプロセス、青色LED、緑色LED、UV LED、深紫外などのさまざまなLEDタイプのプロセスで広く使用されています。 LPE、Aixtron、Veeco、Nuflare、TEL、ASM、Annialsys、TSIなどの機器に適合するLEDなど。

私たちができるリアクター部品:

炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SiCコーティングの基本物性
財産	代表値
結晶構造	FCC β 相多結晶、主に (111) 配向
SiCコーティングの密度	3.21 g/cm3
SiCコーティング硬度	ビッカース硬度 2500（500g荷重）
粒径	2～10μm
化学純度	99.99995%
熱容量	640J・kg^-1・K^-1
昇華温度	2700℃
曲げ強度	415MPa RT 4点
ヤング率	430 Gpa 4pt曲げ、1300℃
熱伝導率	300W・m^-1・K^-1
熱膨張(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC膜の結晶構造

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

炭化ケイ素でコーティングされたエピサセプタ SiCコーティングウェーハキャリア MOCVD用SiCコートサテライトカバー CVD SiC コーティングウェーハエピサセプタ CVD SiCコーティング発熱体 Aixtron サテライトウェーハキャリア SiCコーティングエピレシーバー SiCコーティング半月型グラファイトパーツ

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SiCコーティングされたICPエッチングキャリア

VeTek Semiconductor の SiC コーティング ICP エッチングキャリアは、最も要求の厳しいエピタキシー装置アプリケーション向けに設計されています。高品質の超高純度グラファイト材料で作られた当社の SiC コーティング ICP エッチングキャリアは、非常に平坦な表面と優れた耐食性を備えており、取り扱い時の過酷な条件に耐えます。 SiC コーティングされたキャリアの高い熱伝導率により、均一な熱分布が確保され、優れたエッチング結果が得られます。 VeTek Semiconductor は、多くの半導体メーカーと長期的な協力関係を確立しています。また、お客様と長期的なパートナーシップを構築できることを楽しみにしています。

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PSS半導体用エッチングキャリアプレート

VeTek Semiconductor の半導体用 PSS エッチングキャリアプレートは、ウェーハハンドリングプロセス用に設計された高品質の超高純度グラファイトキャリアです。当社のキャリアは優れた性能を備えており、過酷な環境、高温、過酷な化学洗浄条件でも良好に機能します。当社の製品は多くのヨーロッパおよびアメリカの市場で広く使用されており、中国での長期的なパートナーになることを楽しみにしています。ぜひ中国に来て当社の工場を訪問し、当社の技術と製品について詳しく学んでください。

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急速熱処理用サセプタ

VeTek Semiconductor は、中国の大手急速熱アニーリングサセプタのメーカーおよびサプライヤーであり、半導体業界向けの高性能ソリューションの提供に注力しています。当社はSiCコーティング材料分野において長年にわたる深い技術蓄積を有しております。当社の急速熱アニール用サセプタは、優れた耐高温性と優れた熱伝導性を備え、ウェーハエピタキシャル製造のニーズに応えます。当社の技術と製品について詳しく知るために、中国の当社工場を訪問することを歓迎します。

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シリコンベースのGaNエピタキシャルサセプタ

シリコンベースの GaN エピタキシャルサセプタは、GaN エピタキシャル製造に必要なコアコンポーネントです。 VeTek Semiconductor は、専門メーカーおよびサプライヤーとして、高品質のシリコンベースの GaN エピタキシャルサセプタの提供に取り組んでいます。当社のシリコンベース GaN エピタキシャルサセプタは、シリコンベースの GaN エピタキシャルリアクタシステム用に設計されており、高純度、優れた高温耐性、耐食性を備えています。 VeTek Semiconductor は、競争力のある価格で高品質の製品を提供することに尽力しています。お問い合わせを歓迎します。

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LPEリアクター用8インチハーフムーンパーツ

VeTek Semiconductor は中国の大手半導体装置メーカーであり、LPE リアクター用の 8 インチハーフムーン部品の研究開発と生産に注力しています。当社は、特にSiCコーティング材料において長年にわたり豊富な経験を蓄積しており、LPEエピタキシャルリアクターに合わせた効率的なソリューションを提供することに尽力しています。当社の LPE リアクター用 8 インチハーフムーン部品は、優れた性能と互換性を備えており、エピタキシャル製造に不可欠なキーコンポーネントです。当社の製品について詳しく知りたい方は、お問い合わせをお待ちしております。

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LPE PE3061S 6 インチウェーハ用 SiC コーティングパンケーキサセプター

LPE PE3061S 6 インチウェーハ用の SiC コーティングパンケーキサセプタは、6 インチウェーハのエピタキシャルウェーハ処理に使用されるコアコンポーネントの 1 つです。 VeTek Semiconductor は現在、中国における LPE PE3061S 6 インチウェーハ用の SiC コーティングパンケーキサセプタの大手メーカーおよびサプライヤーです。同社が提供するSiCコーティングパンケーキサセプターは、高い耐食性、良好な熱伝導性、良好な均一性などの優れた特性を備えています。お問い合わせをお待ちしております。

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中国の専門的な炭化ケイ素コーティングメーカーおよびサプライヤーとして、当社は独自の工場を持っています。お住まいの地域の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされたサービスが必要な場合でも、高度で耐久性のある中国製の炭化ケイ素コーティングを購入したい場合でも、メッセージを残していただけます。

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炭化ケイ素コーティングにはいくつかのユニークな利点があります。

VeTek Semiconductor 炭化ケイ素コーティングのパラメータ

CVD SIC膜の結晶構造

SiCコーティングされたICPエッチングキャリア

PSS半導体用エッチングキャリアプレート

急速熱処理用サセプタ

シリコンベースのGaNエピタキシャルサセプタ

LPEリアクター用8インチハーフムーンパーツ

LPE PE3061S 6 インチウェーハ用 SiC コーティングパンケーキサセプター

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